Ftian asarlari. 27-jild. Kvant kompyuterlari, mikro va nanoelektronika. Fizika, texnologiya
Monografik to'plam Institut xodimlari tomonidan mantiqiy intefal sxemalar (UBIS) uchun ilg'or nanotransistor tuzilmalarning fizikasi, simulyatsiyasi va texnologiyalari sohasida olingan nazariy va eksperimental natijalarni taqdim etadi. terahertz chastota diapazonidagi qattiq holatdagi generatorlar uchun nanostrukturalar. Kritik o'lchamlari 11-32 nm bo'lgan bunday qurilmalarni ishlab chiqarishning asosiy texnologik jarayonlari bo'yicha tadqiqotlar keltirilgan: elektron nurli litografiya, plazma nano tuzilishi, dielektriklar va metallarning atom qatlamli cho'kishi. Ko'p darajali metalllashtirish tizimlari uchun g'ovakli Low-k dielektriklarining mikroyapısı sohasida natijalar berilgan. Tadqiqotlarning aksariyati Rossiya fano fni dasturi doirasida o'tkazilgan. Mikro va nanoelektronika bo'yicha mutaxassislar, aspirantlar va tegishli mutaxassisliklar bo'yicha yuqori kurs talabalari uchun.
Sharhlar topilmadi